為什麼半導體無塵室需要使用黃光燈管呢？

什麼是微影製程？

微影製程（photolithography）是半導體元件製造中重要的過程之一。簡單來說，就是將電路圖案透過已刻好圖案的光罩及光阻，轉印到晶圓上的過程。

這個過程，將有二氧化矽絕緣層的矽晶圓塗上光阻，透過紫外光照射，後以顯影液溶解光阻並進行蝕刻，待時刻完畢，就可在晶圓上留下特定的電路圖案。

什麼是光阻劑？為什麼要過濾紫外線波段？

微影製程中使用的光阻劑由樹脂、溶劑和添加劑組成，其光敏感範圍的波長介於200nm與500nm之間。因此半導體無塵室中多會選擇已過濾500nm以下紫外線波段的黃色照明光源，以防止光阻過度曝光或者提前曝光的情形發生。

大正節能科技的黃光LED燈管專為半導體無塵室設計製作，經國家實驗室認證，可過濾500nm以下紫外線波段，使得光阻劑不受光源因素影響半導體製程。

 

您知道黃光燈管的可以運用在其它產業嗎？

適用於具有光阻劑(Photoresist)應用之產業，如：積體電路、面板顯示器；或者博物館、圖書館、印刷產業、微影製成實驗室等具備光敏元件材料之場所等。

 

無塵室曝光顯影區專用T8 LED黃光燈管介紹：

• 可直接替代傳統T8螢光燈管(G13燈座)，重複使用舊燈具。
• 抗紫外線保護，可過濾500nm以下紫外線波段。
• 品質堅韌，具過溫、過流及短路保護。
• 使用壽命長達30,000小時，開關循環達15,000次。
• 半鋁塑製材質，不含汞等重金屬元件。
• 通過CE、RoHS認證以及國家實驗室認證光譜報告。
• 適用場所：半導體工廠、半導體實驗室、無塵室、博物館、圖書館、印刷廠、微影製成實驗室等具備光敏元件材料之場所。
• 我司亦有無塵室專用淚滴型燈具、上掀式燈具可供參考選購。

↑國家實驗室報告，T8 4尺LED黃光燈管光譜曲線

無塵室曝光顯影區域專用T8 4尺 LED黃光燈管認證報告連結：
https://www.best-energysaving-tech.com/tw/news/N2022033100001/news_detail.html

無塵室燈具目錄連結：
https://www.best-energysaving-tech.com/tw/news/N2022030100001/news_detail.html

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